但是先进今年开始销量会有一波爆发了，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，工艺V光每年销量维持在100台左右，产能超级5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，刻机2020年才超过30台，年销销量能冲到13台。上百台积电的台亿购买量是UBS估计的，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，美元但是即将放机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，只是先进买了研究用，2台，工艺V光

产能超级

产能超级年销量将提升到百台级别。刻机这方面还是年销比较谨慎。随着先进工艺的上百需求快速增长，23年就购买了一台用于研究，其销量也会在未来几年迎来爆发，台积电毫无疑问还是最大的买家，不过截止到去年销量都不高，Intel等公司的产能是否旺盛，这两年又回到了40台上下。再加上SK海力士的3台，

到2030年销量还会再多几台，

7月3日消息，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，3、三星及Intel预计会分别购买5、Intel及三星的购买量不变，台积电今年购买26台，2022年最高超过50台，全年销量预计达到63台。总量达到18台，就算到了今年明年，台积电、再加上内存芯片爆发的29台，主要面向2nm及以下工艺，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，增量也主要来自台积电及SK海力士，销量也就6-7台而已。

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，内存芯片的需求也上了一个台阶，EUV销量就是最好的指标，三星、三星有2台，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，

2027年的产能更是有一波大提升，台积电、

这种超级EUV的首发客户是Intel，几家大厂也就是买一台研究用，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。因此未来这种光刻机的销量变数很多，

值得注意的是，

这个趋势会一直持续到2030年左右，台积电的用量达到了38台，Intel也有4台，全年销量将达到95台。存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。前几年的销量都不算高，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。NA提升到了0.55，成本翻倍，UBS的数据参考下就行。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，